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विकृत वेफर्स को संभालने के लिए विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक लेजर स्क्रिपिंग लिथोग्राफी

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विकृत वेफर्स को संभालने के लिए विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक लेजर स्क्रिपिंग लिथोग्राफी

एमओक्यू:	1
कीमत:	100
standard packaging:	Standard Export Packaging
Delivery period:	15 working days
भुगतान विधि:	T/T, Western Union
Supply Capacity:	500pcs/day

विवरण जानकारी

उत्पाद का वर्णन

विस्तृत जानकारी

Place of Origin

CHINA

ब्रांड नाम

प्रमाणन

Model Number

MC0304

Warranty:

One year

Core Components:

Maganic

Size:

300x400x80mm

Magnetic block force block:

25kg.f

Total suction:

3300kg.f

OEM/ODM:

Available

प्रमुखता देना:

लिथोग्राफी वैक्यूम चक

विकृत वेफर वैक्यूम चक

लेजर स्क्रिपिंग वैक्यूम चक

उत्पाद का वर्णन

विकृत वेफर्स को संभालने के लिए विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक, लेजर स्क्रिपिंग, लिथोग्राफी

सेमीकंडक्टर विनिर्माण के उच्च परिशुद्धता और मांग वाले क्षेत्रों में, जैसे कि लेजर स्क्रिपिंग और लिथोग्राफी, वेफर्स के उचित हैंडलिंग का अत्यंत महत्व है।वेफर्स अक्सर थर्मल तनाव जैसे विभिन्न कारकों के कारण विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान विकृति विकसित करते हैंइस तरह के विकृत होने से पारंपरिक वेफर हैंडलिंग विधियों के लिए महत्वपूर्ण चुनौतियां पैदा हो सकती हैं।इन चुनौतियों से निपटने के लिए क्रांतिकारी समाधान के रूप में उभरा है, जो महत्वपूर्ण विनिर्माण चरणों में विकृत वेफर्स के कुशल और सटीक प्रसंस्करण की अनुमति देता है।

1विकृत वेफर्स की समस्या को समझना

वेफर्स के विकृत होने के कारण

आमतौर पर सिलिकॉन या अन्य अर्धचालक सामग्रियों से बने वेफर्स अर्धचालक निर्माण के विभिन्न चरणों के दौरान विकृति के अधीन होते हैं।और बयान, वेफर्स के पार थर्मल ग्रेडिएंट पेश कर सकते हैं। ये ग्रेडिएंट अंतर विस्तार और संकुचन का कारण बनते हैं, जिससे विकृति होती है। उदाहरण के लिए, एनीलिंग में तेजी से हीटिंग और कूलिंग चक्र के दौरान,वेफर्स की बाहरी परतें आंतरिक परतों से भिन्न दर से विस्तार या संकुचन कर सकती हैं, जिसके परिणामस्वरूप एक घुमावदार या घुमावदार वेफर्स बन जाता है।

सामग्री असमानता एक अन्य कारक है। यदि वेफर में इसकी क्रिस्टल संरचना या अशुद्धता वितरण में भिन्नताएं हैं, तो यह असमान यांत्रिक गुणों का कारण बन सकता है, जिससे तनाव के तहत विकृति हो सकती है।अतिरिक्त, वेफर्स के निर्माण के दौरान अनुचित हैंडलिंग, जैसे कि परिवहन के दौरान असभ्य पकड़ या अत्यधिक दबाव, भी विकृति का कारण बन सकता है।

लेजर स्क्रिपिंग और लिथोग्राफी पर प्रभाव

विकृत वेफर्स लेजर स्क्रिपिंग और लिथोग्राफी प्रक्रियाओं की सटीकता और गुणवत्ता को गंभीर रूप से प्रभावित कर सकते हैं। लेजर स्क्रिपिंग में, जहां उच्च ऊर्जा वाले लेजर बीम का उपयोग वेफर को ठीक से काटने या चिह्नित करने के लिए किया जाता है,एक विकृत सतह के कारण लेजर बीम असंगत कोणों पर आकस्मिक हो सकता हैइसके परिणामस्वरूप गलत लिपि रेखाएं, असमान कटौती या वेफर को क्षति हो सकती है।

लिथोग्राफी में, जो जटिल सर्किटों के साथ वेफर को पैटर्न बनाने के लिए महत्वपूर्ण है, एक विकृत वेफर फोकल लेंथ में भिन्नता का कारण बन सकता है।चूंकि लिथोग्राफी प्रणालियां पैटर्न को स्थानांतरित करने के लिए वेफर की सतह पर प्रकाश के सटीक फोकस पर निर्भर करती हैं, किसी भी विकृति के कारण पैटर्न विकृत या गलत हो सकता है। यह अंततः दोषपूर्ण अर्धचालक उपकरणों और विनिर्माण प्रक्रिया में कम उपज का कारण बन सकता है।

2. विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक का डिजाइन और निर्माण

आधार संरचना और सामग्री

एक घुमावदार वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक का आधार अत्यधिक कठोर और स्थिर होने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह आमतौर पर उच्च-शक्ति मिश्र धातु स्टील या विशेष सिरेमिक कम्पोजिट जैसी सामग्रियों से निर्मित होता है.मिश्र धातु स्टील उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति और स्थायित्व प्रदान करता है, यह सुनिश्चित करता है कि चक वेफर हैंडलिंग और वैक्यूम प्रणाली से जुड़े बलों का सामना कर सकता है।दूसरी ओर, अच्छी थर्मल स्थिरता और कम थर्मल विस्तार प्रदान करता है, जो उन वातावरणों में फायदेमंद है जहां तापमान में उतार-चढ़ाव चक के प्रदर्शन को प्रभावित कर सकता है।

अन्य घटकों के एकीकरण के लिए एक सपाट और चिकनी सतह सुनिश्चित करने के लिए आधार को उच्च स्तर की सटीकता के साथ मशीनीकृत किया जाता है।यह भी वैक्यूम चैनलों और clamping तंत्र के लिए एक समर्थन संरचना के रूप में कार्य करता है.

वैक्यूम चैनल और पोर्ट डिजाइन

आधार के भीतर वैक्यूम चैनलों का एक नेटवर्क है जो वेलर की सतह पर वैक्यूम बल को समान रूप से वितरित करने के लिए सावधानीपूर्वक डिज़ाइन किए गए हैं।चैनलों बंदरगाहों की एक श्रृंखला है कि रणनीतिक रूप से चक सतह भर में रखा जाता है करने के लिए जुड़े हुए हैंइन बंदरगाहों की संख्या, आकार और लेआउट को वेफर्स में विभिन्न डिग्री के विकृति के अनुकूल अनुकूलित किया जाता है।

उदाहरण के लिए, उन क्षेत्रों में जहां वेफर अधिक गंभीर रूप से विकृत होता है, एक मजबूत वैक्यूम पकड़ प्रदान करने के लिए वैक्यूम पोर्ट का एक उच्च घनत्व स्थापित किया जा सकता है।वैक्यूम चैनलों दबाव ड्रॉप को कम करने के लिए इंजीनियर कर रहे हैं और यह सुनिश्चित करें कि वैक्यूम दबाव कुशलता से बंदरगाहों के लिए प्रेषित किया जाता हैकुछ उन्नत डिजाइनों में, चैनलों को वाल्व या नियामकों से लैस किया जा सकता है जो चक के विभिन्न क्षेत्रों में वैक्यूम दबाव के स्वतंत्र नियंत्रण की अनुमति देते हैं।

क्लैंपिंग तंत्र

विकृत वेफर्स को प्रभावी ढंग से क्लैंप करने के लिए, इन वैक्यूम चक में एक विशेष क्लैंपिंग तंत्र है।इस तंत्र को एक सुरक्षित पकड़ प्रदान करते हुए वेफर के विकृत आकार के अनुरूप डिजाइन किया गया हैएक आम दृष्टिकोण लचीला झिल्ली या पैड का उपयोग है जो चक सतह पर रखा जाता है। ये झिल्ली विकृत वेफर के आकार से मेल खाने के लिए विकृत हो सकती है,वेफर और चक के बीच एक सील बनाने.

जब वैक्यूम लागू किया जाता है, तो वेफर के ऊपर और नीचे के बीच दबाव अंतर वेफर के खिलाफ लचीले झिल्ली को दबाता है, एक समान क्लैंपिंग बल प्रदान करता है।क्लैंपिंग तंत्र में समायोज्य पिन या समर्थन भी शामिल हो सकते हैं जिनका उपयोग वेफर के विकृत क्षेत्रों को और अधिक समर्थन देने और विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान अत्यधिक विचलन को रोकने के लिए किया जा सकता है.

विनिर्देश

विनिर्देश	चुंबकीय आकर्षण	चौड़ाई (मिमी)	लंबाई (मिमी)	ऊंचाई (मिमी)	वजन (किलो)
150*150	≥40 किलो	150	150	80	13.5
150*300	≥40 किलो	150	300	80	27
150*350	≥40 किलो	150	350	80	31.5
150*400	≥40 किलो	150	400	80	36
200*200	≥40 किलो	200	200	80	24
200*300	≥40 किलो	200	300	80	36
200*400	≥40 किलो	200	400	80	48
200*500	≥40 किलो	200	500	80	60
250*500	≥40 किलो	250	500	80	75
300*300	≥40 किलो	300	300	80	54
300*400	≥40 किलो	300	400	80	72
300*500	≥40 किलो	300	500	80	90
300*600	≥40 किलो	300	600	80	108
300*800	≥40 किलो	300	800	80	144
400*400	≥40 किलो	400	400	80	96
400*500	≥40 किलो	400	500	80	120
400*600	≥40 किलो	400	600	80	144
400*800	≥40 किलो	400	800	80	192
500*500	≥40 किलो	500	500	80	150
500*600	≥40 किलो	500	600	80	180
500*800	≥40 किलो	500	800	80	240
600*800	≥40 किलो	600	800	80	288
600*1000	≥40 किलो	600	1000	80	360

3कार्य सिद्धांत

वैक्यूम जनरेशन और पकड़ बल

जब वैक्यूम स्रोत सक्रिय हो जाता है, तो चक की सतह पर वैक्यूम बंदरगाहों के माध्यम से हवा तेजी से बाहर खींची जाती है। इससे वेफर के नीचे कम दबाव का क्षेत्र बनता है,जबकि वेफर के ऊपर वायुमंडलीय दबाव स्थिर रहता हैपरिणामी दबाव अंतर, वेफर पर नीचे की ओर बल डालता है, जिससे वह चक सतह पर दबाता है।

वैक्यूम चैनलों और बंदरगाहों का अनूठा डिजाइन यह सुनिश्चित करता है कि वैक्यूम बल को इस तरह वितरित किया जाए जिससे वेफर के विकृत होने की क्षतिपूर्ति हो।वेफर्स के क्षेत्र जो विकृति के कारण अधिक ऊंचे हैं, वे संबंधित बंदरगाह क्षेत्रों में उच्च वैक्यूम दबाव द्वारा दृढ़ता से आयोजित किए जाते हैं, जबकि निचले पड़े क्षेत्रों को भी उचित वैक्यूम वितरण द्वारा मजबूती से रखा जाता है। इसका परिणाम पूरे विकृत वेफर सतह पर एक स्थिर और समान क्लैंपिंग बल होता है।

घुमावदार सतहों के लिए अनुकूलनशील क्लैंपिंग

क्लैंपिंग तंत्र में लचीले झिल्ली या पैड वेफर्स की विकृत सतहों के अनुकूलन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं।झिल्ली वेफर के आकार के अनुरूप करने के लिए विकृतयह अनुकूलन क्षमता यह सुनिश्चित करती है कि वफ़र और चक के बीच पर्याप्त संपर्क क्षेत्र हो, यहां तक कि विकृति की उपस्थिति में भी।

क्लैंपिंग तंत्र में समायोज्य पिन या समर्थन को ठीक से समायोजित किया जा सकता है ताकि वेफर के सबसे विकृत क्षेत्रों को अतिरिक्त समर्थन प्रदान किया जा सके। इन पिन या समर्थन की स्थिति को समायोजित करके,चक विभिन्न डिग्री और warping के पैटर्न के साथ वेफर्स समायोजित कर सकते हैं, लेजर स्क्रिपिंग और लिथोग्राफी प्रक्रियाओं के दौरान एक सुरक्षित पकड़ सुनिश्चित करता है।

4लेजर स्क्रिपिंग के फायदे

सटीक लेजर बीम घटना

विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक विकृत वेफर पर सटीक लेजर बीम प्रभाव को सक्षम करते हैं। सुरक्षित रूप से वेफर को जगह पर पकड़कर और इसके विकृति की भरपाई करके,चक सुनिश्चित करता है कि लेजर बीम वांछित कोण पर वेफर को हिट करता हैइसके परिणामस्वरूप सटीक स्क्रिपिंग लाइनें, स्वच्छ कटौती और वेफर की सतह पर लगातार अंकन होता है।

उदाहरण के लिए, अर्धचालक चिप्स के उत्पादन में, जहां लेजर स्क्रिपिंग का उपयोग व्यक्तिगत डे की सीमाओं को परिभाषित करने के लिए किया जाता है,इन वैक्यूम chucks का उपयोग काफी स्क्रिपिंग प्रक्रिया की सटीकता में सुधार कर सकते हैंयह बदले में दोषपूर्ण चिप्स की संभावना को कम करता है और विनिर्माण प्रक्रिया की समग्र उपज को बढ़ाता है।

वेफर्स की क्षति कम करना

घुमावदार वेफर्स के लिए पारंपरिक वेफर हैंडलिंग विधियों से क्लैंपिंग प्रक्रिया के दौरान वेफर की सतह को नुकसान हो सकता है।एक कोमल लेकिन सुरक्षित पकड़ प्रदान करेंलचीले झिल्ली और वैक्यूम बल के समान वितरण से सतह पर खरोंच, घूंघट या अन्य प्रकार के नुकसान का खतरा कम हो जाता है।

लेजर स्क्रिपिंग में, जहां बाद के प्रसंस्करण चरणों के लिए वेफर सतह को शुद्ध स्थिति में रहने की आवश्यकता होती है, इन वैक्यूम चक द्वारा प्रदान किए जाने वाले क्षति के जोखिम को कम करना अत्यधिक फायदेमंद है।यह यह सुनिश्चित करता है कि लेजर-लिपि प्रक्रिया के दौरान वेफर की गुणवत्ता बरकरार रहे, जिससे उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरण बनते हैं।

5लिथोग्राफी में महत्व

सटीक पैटर्न ट्रांसफर

लिथोग्राफी में अर्धचालक उपकरणों के सफल निर्माण के लिए सटीक पैटर्न हस्तांतरण आवश्यक है।विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक लिथोग्राफी प्रक्रिया के दौरान वेफर के लिए एक स्थिर और सपाट सतह प्रदान करके इसे प्राप्त करने में मदद करते हैंवेफर के विकृत होने की भरपाई करके, चक यह सुनिश्चित करता है कि लिथोग्राफी प्रणाली की फोकल लंबाई पूरे वेफर सतह पर समान बनी रहे।

इसके परिणामस्वरूप तेज और अच्छी तरह से परिभाषित पैटर्न को वेफर पर स्थानांतरित किया जाता है। उच्च घनत्व वाले एकीकृत सर्किट के उत्पादन में, जहां नैनोमीटर पैमाने के पैटर्न महत्वपूर्ण हैं,इन वैक्यूम chucks का उपयोग काफी लिथोग्राफी प्रक्रिया की सटीकता में सुधार कर सकते हैं, जिससे अधिक विश्वसनीय और उच्च-प्रदर्शन वाले अर्धचालक उपकरण बनते हैं।

बेहतर उपज

विकृत वेफर्स द्वारा उत्पन्न चुनौतियों का सामना करने के लिए विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक की क्षमता सीधे लिथोग्राफी में बेहतर उपज में योगदान देती है।पैटर्न विकृति और असंगतता की संभावना को कम करके, ये चक अधिक दोष मुक्त वेफर्स के उत्पादन में मदद करते हैं। अर्धचालक विनिर्माण में, जहां एक एकल वेफर के उत्पादन की लागत अधिक है,एक बेहतर उपज का उत्पादन प्रक्रिया की समग्र लागत-प्रभावशीलता पर महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ सकता है.

6अनुकूलन और रखरखाव

अनुकूलन विकल्प

विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक को विभिन्न अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित किया जा सकता है।आकार और चक के आकार के लिए अनुकूलित किया जा सकता है प्रसंस्करण किया जा रहा है वेफर्स के आयाम फिट करने के लिएवैक्यूम चैनल और पोर्ट डिजाइन को विभिन्न डिग्री के विरूपण वाले वेफर्स के लिए वैक्यूम वितरण को अनुकूलित करने के लिए समायोजित किया जा सकता है।

उदाहरण के लिए, एक विनिर्माण प्रक्रिया में जहां चरम विकृति वाले वेफर्स आम हैं,चक को वैक्यूम चैनलों के अधिक जटिल नेटवर्क और उन क्षेत्रों में बंदरगाहों के उच्च घनत्व के साथ डिज़ाइन किया जा सकता है जहां विकृति सबसे गंभीर हैइसके अतिरिक्त, क्लैंपिंग तंत्र को अतिरिक्त सुविधाओं को शामिल करने के लिए अनुकूलित किया जा सकता है, जैसे सेंसर जो विकृति की डिग्री का पता लगा सकते हैं और तदनुसार क्लैंपिंग बल को समायोजित कर सकते हैं।

रखरखाव की आवश्यकताएं

घुमावदार वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक का रखरखाव अपेक्षाकृत सरल है। चक की सतह, लचीले झिल्ली या पैड सहित, किसी भी पहनने, क्षति के संकेतों के लिए नियमित निरीक्षण,या प्रदूषण महत्वपूर्ण हैवैक्यूम प्रवाह को प्रभावित करने वाले किसी भी मलबे या कणों को हटाने के लिए वैक्यूम चैनलों और बंदरगाहों को समय-समय पर साफ किया जाना चाहिए।

वैक्यूम पंप और संबंधित घटकों को निर्माता के निर्देशों के अनुसार बनाए रखा जाना चाहिए, जिसमें नियमित तेल परिवर्तन, फिल्टर की जगह और प्रदर्शन की जांच शामिल है।क्लैंपिंग तंत्र में समायोज्य पिन या समर्थन को उचित कार्यक्षमता के लिए जाँच की जानी चाहिए और यदि आवश्यक हो तो समायोजित किया जाना चाहिएइन रखरखाव प्रक्रियाओं का पालन करके, विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक अपने प्रदर्शन और विश्वसनीयता को लंबे समय तक बनाए रख सकते हैं।

7निष्कर्ष

विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक अर्धचालक विनिर्माण उद्योग में एक आवश्यक उपकरण है, विशेष रूप से लेजर स्क्रिपिंग और लिथोग्राफी प्रक्रियाओं के लिए।उनकी अनूठी रचना और कामकाजी सिद्धांत विकृत वेफर्स के कुशल और सटीक हैंडलिंग की अनुमति देता हैसेमीकंडक्टर विनिर्माण में एक प्रमुख चुनौती का सामना करते हुए, सटीक लेजर बीम घटना को सक्षम करके, वेफर क्षति को कम करके, सटीक पैटर्न हस्तांतरण सुनिश्चित करके और उत्पादन में सुधार करके,इन वैक्यूम चक उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैंयदि आप अर्धचालक विनिर्माण में शामिल हैं और अपने लेजर-स्क्रिपिंग या लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में विकृत वेफर्स के साथ समस्याओं का सामना कर रहे हैं,विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक में निवेश करने पर विचार करेंहमारे विशेषज्ञों की टीम से संपर्क करें यह पता लगाने के लिए कि इन अभिनव चक को आपकी विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कैसे अनुकूलित किया जा सकता है और आपकी अर्धचालक विनिर्माण क्षमताओं को अगले स्तर पर ले जा सकता है।

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300x400x80mm

Magnetic block force block:

25kg.f

Total suction:

3300kg.f

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विकृत वेफर्स को संभालने के लिए विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक, लेजर स्क्रिपिंग, लिथोग्राफी

1विकृत वेफर्स की समस्या को समझना

वेफर्स के विकृत होने के कारण

लेजर स्क्रिपिंग और लिथोग्राफी पर प्रभाव

2. विकृत वेफर क्लैंपिंग वैक्यूम चक का डिजाइन और निर्माण

आधार संरचना और सामग्री

वैक्यूम चैनल और पोर्ट डिजाइन

क्लैंपिंग तंत्र

विनिर्देश

विनिर्देश	चुंबकीय आकर्षण	चौड़ाई (मिमी)	लंबाई (मिमी)	ऊंचाई (मिमी)	वजन (किलो)
150*150	≥40 किलो	150	150	80	13.5
150*300	≥40 किलो	150	300	80	27
150*350	≥40 किलो	150	350	80	31.5
150*400	≥40 किलो	150	400	80	36
200*200	≥40 किलो	200	200	80	24
200*300	≥40 किलो	200	300	80	36
200*400	≥40 किलो	200	400	80	48
200*500	≥40 किलो	200	500	80	60
250*500	≥40 किलो	250	500	80	75
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300*400	≥40 किलो	300	400	80	72
300*500	≥40 किलो	300	500	80	90
300*600	≥40 किलो	300	600	80	108
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400*600	≥40 किलो	400	600	80	144
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500*800	≥40 किलो	500	800	80	240
600*800	≥40 किलो	600	800	80	288
600*1000	≥40 किलो	600	1000	80	360

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4लेजर स्क्रिपिंग के फायदे

सटीक लेजर बीम घटना

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5लिथोग्राफी में महत्व

सटीक पैटर्न ट्रांसफर

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6अनुकूलन और रखरखाव

अनुकूलन विकल्प

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7निष्कर्ष

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